气体激光振荡器以及气体激光加工机

摘要

壳体(7)中的激光气体压力由气压传感器(12)检测，通过压力比较电路(13)判断正常还是异常。对使激光气体回流的鼓风机(5)进行驱动的逆变器(10)的输出电流由电流检测单元(9)检测，通过电流比较电路(11)判断正常还是异常。压力比较电路(13)的结果和电流比较电路(11)的结果送至AND电路(15)实施AND处理。AND电路(15)的结果和电流检测电路(9)的结果以及气压传感器(12)的结果送至控制装置(14)中的比较运算部(17)，判断鼓风机是否异常，判断为异常时，向振荡器和加工机控制部(18)发出信号，使振荡器以及加工机停止。由此，能够与激光气体压力的变动无关地检测鼓风机(5)的异常。

主权项

1.一种气体激光振荡器，其设有：密闭的壳体；封入前述壳体内的激光气体；使前述激光气体产生放电的一对电极；以及使前述激光气体流过前述电极之间的鼓风机，其特征在于，还设有：电流检测单元，其检测向鼓风机供给驱动电力的逆变器的输出电流值；以及压力检测单元，其检测壳体内的激光气体的压力，利用由前述电流检测单元检测出的前述逆变器的输出电流值、和由前述压力检测单元检测出的激光气体压力值，检测前述鼓风机的异常。