发明名称 A CLEANING DEVICE OF A NOZZLE
摘要
申请公布号 KR20070036865(A) 申请公布日期 2007.04.04
申请号 KR20050091841 申请日期 2005.09.30
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 CHOI, JONG SU;CHO, SU HYUN;RYU, IN CHEOL;LEE, WOO SEOK
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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