在坚硬的非金属基底内烧蚀开口的方法和装置

摘要

本发明公开了一种在坚硬的非金属基底(24)内烧蚀孔的方法。提供至少一个激光器组件(12)，它能够在轴上产生具有焦点的激光束(16a)，其中所述焦点相对于所述轴可以移动。激光束(16a)的焦点定位于邻近基底(24)的至少一个表面。用激光束(16a)烧蚀基底的第一层(传递-1)。相对于一个对应于基底(24)的深度的轴移动所述焦点，从而可进行基底(24)的连续层(传递2-10)的烧蚀，在基底(24)内产生孔(32)。

主权项

1.一种在透明的、坚硬的非金属基底内烧蚀具有构造的开口的方法，包括下列步骤：(a)使第一激光器聚焦在所述透明的、坚硬的非金属基底的一个表面上，以烧蚀所述一个表面并在所述一个表面中形成一开口；(b)使第二激光器聚焦在所述透明的、坚硬的非金属基底的相对表面上，以烧蚀所述相对表面并在该相对表面中形成一开口；(c)相对于z轴移动所述第一和第二激光器的焦点，其中，所述z轴对应于所述坚硬的非金属基底的厚度；以及(d)重复步骤(b)和(c)以在所述透明的、坚硬的非金属基底内形成多个具有预定深度的具有构造的开口。