用于检测在半导体加工系统中的氟或卤素物质的涂镍自立式碳化硅结构及其制造和应用方法

摘要

本发明涉及一种基于MEMS的气体传感器组件，用于检测在含有含氟物质的气体中的含氟物质，例如，经过用HF、NF₃等浸蚀清洗的半导体加工工具的流出物。在优选的具体实施方式中，这样的气体传感器组件包括自立式碳化硅支撑结构，该结构上涂布有气敏材料层，优选为镍或镍合金层。这样的气体传感器组件优选由微成型技术制造，其采用后续可以除掉以用于形成结构层的牺牲模。

主权项

1.一种气体传感器组件，包括至少一个形成在自立式支撑结构上的金属传感器元件，其中所述金属传感器元件包括在与卤素物质接触时显示出可检测的变化的金属或金属合金，并且其中所述自立式支撑结构包括对所述卤素物质具有耐受性的支撑材料。