用来产生均匀的处理速度的方法和装置

摘要

一种用来在一个处理腔室内产生电场的天线装置。一般说来，该天线装置包括围绕天线轴线设置的第一环。该第一环包括：带有第一圈的间隙的第一圈；带有第二圈的间隙的第二圈，其中，第二圈与第一圈同心并且共平面，并且与第一圈间隔开，且其中，天线的轴线穿过第一圈和第二圈的中心；以及在第一圈的第二端和第二圈上的第一端之间实现电路连接的第一圈与第二圈的连接器，它包括一个跨接段，在第一圈与第二圈之间，并且与第一圈和第二圈共平面，该跨接段跨置第一圈的间隙和第二圈的间隙。

主权项

1.一种用来在处理腔室内产生电场的天线装置，所述天线装置包括：围绕天线轴线设置的第一环，其包括：带有第一圈的间隙的第一圈，其中，第一圈的第一端在第一圈的间隙的第一侧面上，而第一圈的第二端在第一圈的间隙的第二侧面上；带有第二圈的间隙的第二圈，其中，第二圈的第一端在第二圈的间隙的第一侧面上，而第二圈的第二端在第二圈的间隙的第二侧面上，其中，第二圈与第一圈同圆心并且共平面，并且与第一圈间隔开，天线的轴线穿过第一圈和第二圈的中心；以及电连接到第一圈和第二圈上的第一电流路径连接器，其包括在第一圈与第二圈之间的跨接段，并且与第一圈和第二圈共平面，所述跨接段跨过第一圈的间隙和第二圈的间隙。