| 发明名称 | 立式热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供容易进行加热元件的更换等的维护操作，谋求提高维护性的立式热处理装置，其特征为，配备以下部件：即收容多个被处理体(W)、用于热处理的处理容器(4)，和覆盖该处理容器(4)周围的筒状加热器(6)，和设置该加热器6的加热器设置部(7)，和从一侧可维护地收容所述加热器(6)的筐体(11)，所述加热器(6)可单个更换地具有多个加热元件(31)，在所述加热器设置部(7)上设置可旋转地支持加热器6的旋转支持机构(40)。 | ||
| 申请公布号 | CN1309028C | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN02827916.6 | 申请日期 | 2002.11.29 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 门部雅人;中尾贤;山贺健一 |
| 分类号 | H01L21/31(2006.01);H01L21/22(2006.01);H01L21/324(2006.01);C23C16/46(2006.01);B60B33/06(2006.01);B60B33/08(2006.01) | 主分类号 | H01L21/31(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1、一种立式热处理装置，其特征为，具有：收容多个被处理体、用于热处理的处理容器；覆盖该处理容器的筒状加热器；设置该加热器的加热器设置部；和从一侧可维护地收容所述加热器的筐体，所述加热器具有可单个地更换的多个加热元件，在所述加热器设置部设有可旋转地支持加热器的旋转支持机构。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||