| 发明名称 | 感光性树脂组合物及其层合体 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种显影后的解像性良好，对显影液的分散稳定性优异，不出现凝集物，且固化膜柔软性优异，具有盖孔性及良好的耐蚀刻液性的感光性树脂组合物、具有由该组合物构成的感光性树脂层的感光性树脂层合体，以及使用该层合体形成抗蚀图案的方法及制造导体图案的方法。本发明通过提供下述感光性树脂组合物而解决了上述问题，即，一种感光性树脂组合物，其特征在于含有(a)粘结剂用树脂：10～90质量％，其羧基含量以酸当量计为100～600，作为共聚成分含有(甲基)丙烯酸苄酯，且重均分子量为5000～500000，(b)光聚合性不饱和化合物：5～70质量％，(c)作为光聚合引发剂的特定化合物0.1～20质量％。 | ||
| 申请公布号 | CN1940723A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200610139390.6 | 申请日期 | 2006.09.27 |
| 申请人 | 旭化成电子材料元件株式会社 | 发明人 | 山田有里;五十岚勉 |
| 分类号 | G03F7/027(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/26(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G03F7/027(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 段承恩;田欣 |
| 主权项 | 1、一种感光性树脂组合物，其特征在于含有，(a)粘结剂用树脂：10～90质量％，其羧基含量以酸当量计为100～600，作为共聚成分含有10～90质量％(甲基)丙烯酸苄酯，且重均分子量为5000～500000，(b)光聚合性不饱和化合物：5～70质量％，(c)作为光聚合引发剂的下述通式(I)所示的化合物0.1～20质量％；<img file="A2006101393900002C1.GIF" wi="658" he="214" />式中，A表示选自氢、芳基、杂环基、直链或支链的碳数为1～6的烷基或烷氧基、及NR<sub>2</sub>(R为氢原子或碳数为1～6的烷基)的取代基。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||