发明名称 |
用顶部籽晶法生长晶体时籽晶的激光对中法 |
摘要 |
本发明涉及一种顶部籽晶法生长晶体时籽晶对中的方法,运用激光方向性好、亮度高等性质,对籽晶方向的偏离进行放大、纠正,将一束激光(4)照射籽晶(1)的头部,然后通过反射镜(3)观察反射光斑在参照墙上(5)的位置,在转动籽晶杆(2)时调整籽晶杆(2)以使反射光斑在参照墙上(5)的位置基本不变,达到籽晶对中的目的。 |
申请公布号 |
CN1308501C |
申请公布日期 |
2007.04.04 |
申请号 |
CN02104315.9 |
申请日期 |
2002.02.25 |
申请人 |
中国科学院福建物质结构研究所 |
发明人 |
吴喜泉;吴少凡;李敢生 |
分类号 |
C30B15/36(2006.01);C30B11/14(2006.01) |
主分类号 |
C30B15/36(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.用顶部籽晶法生长晶体时籽晶的激光对中法,其特征在于:该方法采取以下步骤:1)先将籽晶(1)剖出一个解理面,然后将其装入籽晶杆(2)中,并将籽晶杆(2)固定在单晶炉上;2)将反射镜(3)非水平放在籽晶杆(2)下部的正下方,使其能够反射远处的He-Ne光(4);3)将He-Ne光(4)通过反射镜(3)照射到籽晶(1)头部上,再经反射镜(3)反射到参照墙(5)上,光斑的合适位置通过转动反射镜(3)来实现;4)转动籽晶杆(2),根据参照墙(5)上的光斑画弧情况,不时调整籽晶杆(2),使光斑画弧不超出所要求的范围,这样籽晶(1)就对中完毕了。 |
地址 |
350002福建省福州市西河 |