液体传感器和包含该传感器的液体容器

摘要

本发明涉及可以可靠判断液体存在的液体传感器和包括该传感器的液体容器。使用其中形成具有压电层(47)的压电元件的液体传感器(60)，电极(46，49)被形成在压电层(47)的两个表面上，并且用于接纳作为检测目标的液体的腔(43)的底部(43a)被振动。传感器(60)包括其中形成具有可振动底部(43a)的腔(43)的振动腔形成基部(40)和层叠在振动腔形成基部(40)上的流动通路形成基部(50)。用于向腔(43)供应作为检测目标的液体的液体供应通路(53)和用于从腔(43)排出作为检测目标的液体的液体排出通路(54)被形成在流动通路形成基部(50)中。

主权项

1.一种液体传感器，包括：振动腔形成基部，具有彼此相对的第一表面和第二表面，所述振动腔形成基部中用于接纳作为检测目标的液体的腔在所述第一表面一侧开口，并且所述腔的底部能够振动；压电元件，包括第一电极、压电层和第二电极，所述第一电极形成在所述振动腔形成基部的所述第二表面一侧，所述压电层层叠在所述第一电极上，所述第二电极层叠在所述压电层上；和流动通路形成基部，层叠在所述振动腔形成基部的所述第一表面侧，所述流动通路形成基部中形成用于向所述腔供应作为所述检测目标的液体的液体供应通路和用于从所述腔排出作为所述检测目标的液体的液体排出通路。