发明名称 |
雷射切割方法 |
摘要 |
一种雷射切割方法,其包括:第一步,以第一切割速度切割原始基板成两块;第二步,以第二切割速度对第一步切割后的基板进行切割,第二切割速度大于第一切割速度;第三步,以第三切割速度对第二步切割后的基板进行切割,第三切割速度大于第二切割速度;当进行更多次下一步切割时,均以大于上一步的切割速度对上一步切割后的基板进行切割。这样就可以明显的节省切割时间,提高生产效率。 |
申请公布号 |
CN1939637A |
申请公布日期 |
2007.04.04 |
申请号 |
CN200510094681.3 |
申请日期 |
2005.09.30 |
申请人 |
富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 |
发明人 |
傅承祖;黄俊凯;陈献堂;郑凯仁;张定宏 |
分类号 |
B23K26/00(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种雷射切割方法,其包括:第一步,以第一切割速度切割原始基板成两块;第二步,以第二切割速度对第一步切割后的基板进行切割,第二切割速度大于第一切割速度;第三步,以第三切割速度对第二步切割后的基板再进行切割,第三切割速度大于第二切割速度;当进行多次更下一步切割时,均以大于上一步的切割速度对上一步切割后的基板进行切割。 |
地址 |
201600上海市松江区松江工业区西部科技园区文吉路500号 |