| 发明名称 | 烘焙装置、冷却加热板的方法及基板处理设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种对烘焙装置中使用的加热板进行冷却的方法。根据该方法，通过在加热板上提供比该加热板温度更低的温度调整板，利用该温度调整板来冷却所述加热板。用于冷却基板的冷却板使所述温度调整板冷却之后，将该温度调整板移动至所述加热板。 | ||
| 申请公布号 | CN1940730A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200510123420.X | 申请日期 | 2005.11.18 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 姜熙荣;任盛焕 |
| 分类号 | G03F7/26(2006.01);G03F7/38(2006.01);G03F7/40(2006.01) | 主分类号 | G03F7/26(2006.01) |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 武玉琴;朱世定 |
| 主权项 | 1.一种烘焙装置，包括：加热板，用于加热基板；温度调整板，用于放置在加热板上冷却该加热板；以及输送机构，用于将温度调整板移动至加热板上。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||