| 发明名称 | 蒸发源部件及使用该部件的真空沉积装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种蒸发源部件和一种使用该部件的真空沉积装置，该真空沉积装置包括真空室、坩锅、加热器和位于坩锅内部的多层内板，其中，多层内板中的各层具有至少一个孔，从而蒸发材料可从坩锅底部穿过多层内板排到真空室中。 | ||
| 申请公布号 | CN1940123A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200610141826.5 | 申请日期 | 2006.09.30 |
| 申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 李政烈;崔镕中;马成乐;闵卿旭 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/54(2006.01);C23C14/56(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩明星;谭昌驰 |
| 主权项 | 1、一种蒸发源部件，包括：坩锅；加热器；多层内板，位于所述坩锅内部，所述多层内板的各层具有至少一个孔。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道水原市 | ||