发明名称 清洗系统及其操作方法
摘要 一种清洗系统,适用于清洗检测电极,清洗系统包括套筒、伸缩件及清洗装置。上述套筒套接于检测电极的基座上,且套筒内壁与基座贴合,其中套筒侧壁具有至少一第一开孔,以暴露出检测电极的感测部,且套筒底部具有多个第二开孔。另外,伸缩件与套筒连接,以使套筒可上下移动。清洗装置将清洗液注入套筒中,以清洗检测电极。
申请公布号 CN1939608A 申请公布日期 2007.04.04
申请号 CN200510107016.3 申请日期 2005.09.27
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 黄政忠;宋坤森;陈宏苑
分类号 B08B3/04(2006.01) 主分类号 B08B3/04(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1、一种清洗系统,适用于清洗一检测电极,该清洗系统包括:一套筒,套接于该检测电极的一基座上,且该套筒内壁与该基座贴合,其中该套筒侧壁具有至少一第一开孔暴露出该检测电极的一感测部,且该套筒底部具有多个第二开孔;一伸缩件,与该套筒连接,使该套筒可上下移动;以及一清洗装置,将一清洗液注入该套筒中,以清洗该检测电极。
地址 中国台湾新竹市