| 发明名称 | 一种表面活性剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及活性剂，尤其涉及一种表面活性剂组合物，主要用于半导体材料，如：硅片、锗片、砷化镓等材料表面的清洗和存放。它含有多元醇类表面活性剂中的吐温系列、聚氧乙烯醚类表面活性剂中的JFC系列、平平加系列、Oπ系列中的一种和纯水；其重量配比：表面活性剂为5～20％、纯水为80～95％。其有益效果是水溶性好，能够降低表面张力，渗透性强，能有效去除半导体材料表面的颗粒和有机物，并维持清洗过的表面长时间不吸附颗粒，还可提高抛光速率，且无污染，不易燃烧。 | ||
| 申请公布号 | CN1940044A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200610084300.8 | 申请日期 | 2006.06.02 |
| 申请人 | 天津晶岭电子材料科技有限公司 | 发明人 | 仲跻和 |
| 分类号 | C11D1/66(2006.01);H01L21/304(2006.01) | 主分类号 | C11D1/66(2006.01) |
| 代理机构 | 国嘉律师事务所 | 代理人 | 刘树人 |
| 主权项 | 1.一种表面活性剂组合物，其特征是含有多元醇类表面活性剂中的吐温系列、聚氧乙烯醚类表面活性剂中的JFC系列、平平加系列、Oπ系列中的一种和纯水；其重量配比：表面活性剂为5～20％、纯水为80～95％。 | ||
| 地址 | 300385天津市西青区微电子工业区中晓园2－B | ||