| 发明名称 | 废液的处理方法及处理设备 | ||
| 摘要 | 本发明目的是在对废液进行冷却时，提供通过冷却来安全处理废液的机制，且不增加成本，不使用大的设备。提出废液的处理方法，该方法中，将化学液体从化学液体供应部分供给化学处理部分；水从水供应部分供给水处理部分；使从化学液体处理部分排出的第一废液通过废化学品部分流入内管，同时从水处理部分排出的第二废液流经废水处理部分进入外管，所述外管在内管的外部；第二废液的温度低于第一废液的温度。 | ||
| 申请公布号 | CN1939841A | 申请公布日期 | 2007.04.04 |
| 申请号 | CN200610142195.9 | 申请日期 | 2006.09.27 |
| 申请人 | 株式会社半导体能源研究所 | 发明人 | 立石文则 |
| 分类号 | C02F1/00(2006.01) | 主分类号 | C02F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张兰英 |
| 主权项 | 1.一种废液处理方法，该方法包括下面的步骤：第一废液流动通过双管的内管；当第一废液流动通过内管时，使温度低于第一废液的第二废液在双管的内管外壁与外管内壁之间流动，其中，所述内管在外管的内部。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||