利用微机电系统制成的微型光耦合器及其制造方法

摘要

一种利用微机电系统制成的微型光耦合器及其制造方法，是指把从激光二极管阵列中输出的光源通过锥形形态的波导管输出成一个光源的光耦合器，包括：呈锥形且集聚从外部输入的光的光输入部；减少已通过光输入部的光的发散角并进行集成的光集成部；输出从光集成部集成的光的光输出部。它的制造方法包括：按照用于集聚从外部输入的光的锥形形态和用于集成集聚的光的流线型透镜形态或菱形形态，蚀刻下部基板来形成波导管的步骤；在波导管的底面和侧面覆盖反射膜的步骤；在上部基板上覆盖反射膜，并吸附该上部基板已覆盖反射膜部位和下部基板的步骤。本发明能起到消除透镜及光纤维制作和分类所需的费用，以节省制作单价，确保价格竞争力的效果。

主权项

1、一种利用微机电系统制成的微型光耦合器，是指具有波导管的微型光耦合器，其特征在于包括以下三个组成部分：呈锥形集聚从外部输入的光的光输入部；减少已通过上述光输入部的光发散角并进行集成的光集成部；输出从上述光集成部集成的光的光输出部。