用于多容器阵列中的气体存储和分配容器的转接的自动切换系统

摘要

一种气体存储和分配系统，其包括气体分配容器的多容器阵列，各气体分配容器需要连续地转接以向耗气工艺提供连续的气体供给，并且以气流连通的方式与泵耦合。该系统具有用于转接操作的时间延迟自动转接过程的能力，其中在转接操作中，在工作气体分配容器的终点限度感测之后，响应性地进行终止向泵的气流、泵的无效、容器的自动切换、重新开始向泵的气流以及泵的重新启动。该系统使响应从多容器阵列中的一个容器到另一个容器转接气体供给时在泵入口处的压力变化而在泵出口处发生的压力尖峰最小化。

主权项

1.一种气体供给和分配系统，包括：一阵列，包括至少两个气体存储和分配容器，其被设置为用于涉及从阵列中的第一个容器转接到第二个容器的连续工作分配操作；与该阵列以气流连通的方式耦合的泵，用于对从阵列中的各容器中的工作容器得到的气体进行抽气，并释放抽到的气体；自动转接系统，其被构造和设置为用于感测各容器中的工作容器的终点限度，并且开始从其中具有气体的阵列中的各容器中的工作容器到各容器中的另一个容器的自动切换，以便从各容器中的、作为接续工作容器的所述另一个容器接续地分配气体，其中自动转接系统在终点限度的感测和开始自动转换之间终止向泵的气流并且使泵无效；并且其中在开始自动切换之后，自动转接系统重新开始向泵的气流，并且使泵重新启动。