发明名称 CMOS图像传感器及其制造方法
摘要 提供了一种CIS及其制造方法。该CIS包括:在其上形成有光电二极管和晶体管的衬底上形成的层间绝缘层;多个滤色镜层,形成在层间绝缘层上并彼此分隔预设间隔;金属侧壁,形成为填充多个滤色镜之间的预设间隔;以及微透镜,形成在多个滤色镜的每一个上。
申请公布号 CN1941396A 申请公布日期 2007.04.04
申请号 CN200610159598.4 申请日期 2006.09.28
申请人 东部电子有限公司 发明人 黄俊
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 林宇清;谢丽娜
主权项 1.一种CIS(互补金属氧化物硅图像传感器),包括:在衬底上形成的层间绝缘层,在该衬底上形成有光电二极管和晶体管;多个滤色镜,形成在层间绝缘层上并彼此分隔预设间隔;金属侧壁,形成为填充多个滤色镜之间的预设间隔;以及微透镜,形成在多个滤色镜的每一个上。
地址 韩国首尔