发明名称 基板载具搬运车
摘要 一种基板载具搬运车,包括支撑部、用以控制搬运车的行走之方向部、组装于支撑部之操作箱体、操作箱体上之操作杆可控制承载部之升降;一滑动部,用以方便基板载具搬运车在地面之行走,一承载部,用以承载基板载具,所述承载部包括定位板、承载臂及夹持机构;定位板组装于承载臂上,夹持机构由一连杆机构组成其一端固定于操作箱体内,所述连杆机构上设置有具有纵向定位功能之固定夹爪,同时配合用以横向定位基板载具之定位销,该搬运车可有效避免搬运过程中基板载具的震动,操作简易定位稳固。
申请公布号 CN2885682Y 申请公布日期 2007.04.04
申请号 CN200620068940.5 申请日期 2006.01.24
申请人 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司 发明人 黄俊凯;何仁钦;蔡升富;姚明德
分类号 B62B1/26(2006.01) 主分类号 B62B1/26(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种基板载具搬运车,用以搬运基板载具,其至少包括:支撑部,其具有相对的第一侧面及第二侧面,用以支撑承载部;方向部,其组装于支撑部第二侧面用以控制搬运车的行走;操作箱体,组装于支撑部靠近顶端处用以控制承载部之运动;滑动部,组装于支撑部第一侧面以方便基板载具搬运车在地面行走;承载部,组装于支撑部之第一侧面上用以承载基板载具,通过操作箱体之控制其可沿平行于支撑部方向上升或下降,其包括定位板、承载臂及夹持机构;所述定位板组装于承载臂上且其上组设有若干定位销,所述夹持机构一端固定于操作箱体内,其特征在于:所述夹持机构是由一连杆机构组成,所述连杆机构上设置有用以纵向定位基板载具之固定夹爪同时配合对基板载具进行横向定位之定位销实现对基板载具之立体定位功能。
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