取向膜的形成方法、取向膜、电子器件用基板、液晶面板

摘要

本发明可以提供耐光性优良，而且能够产生偏转预倾角的取向膜，提供具备这样的取向膜的电子器件用基板、液晶面板和电子仪器，另外，提供这样的取向膜的形成方法。本发明的取向膜的形成方法，是在基体材料上形成取向膜，其特征在于，蒸发碳，同时在基体材料的形成取向膜的面上，只从相对于与该面垂直的方向倾斜所定的角度θ_a的方向照射含有氮离子的离子束。上述所定的角度θ_a是45～89°。含有氮离子的离子束的加速电压是100～500V。含有氮离子的离子束的电流是10～500mA。

主权项

1.一种取向膜的形成方法，在基体材料上形成取向膜，其特征在于，用蒸发源蒸发碳，同时在上述基体材料的形成上述取向膜的面上，只从相对于与该面垂直的方向倾斜所定的角度θa的方向照射含有氮离子的离子束。