发明名称 Apparatus for metal deposition
摘要
申请公布号 KR100702760(B1) 申请公布日期 2007.04.03
申请号 KR19990061781 申请日期 1999.12.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址