| 发明名称 |
Polishing pad with window |
| 摘要 |
Polishing pads with a window, systems containing such polishing pads, and processes that use such polishing pads are disclosed.
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| 申请公布号 |
US7198544(B2) |
申请公布日期 |
2007.04.03 |
| 申请号 |
US20050190274 |
申请日期 |
2005.07.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WISWESSER ANDREAS NORBERT |
| 分类号 |
B24B49/00;B24B1/00;B24B37/04;B24B51/00;B24D13/14 |
主分类号 |
B24B49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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