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发明名称
Vapor deposition source and Vapor deposition apparatus having thereof
摘要
申请公布号
KR100703427(B1)
申请公布日期
2007.04.03
申请号
KR20050031684
申请日期
2005.04.15
申请人
发明人
分类号
C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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