| 发明名称 |
Positive resist composition |
| 摘要 |
A positive resist composition compris
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| 申请公布号 |
US7198880(B2) |
申请公布日期 |
2007.04.03 |
| 申请号 |
US20030422789 |
申请日期 |
2003.04.25 |
| 申请人 |
FUJIFILM CORPORATION |
发明人 |
SASAKI TOMOYA;MIZUTANI KAZUYOSHI;KANNA SHINICHI |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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