发明名称 METHOD FOR FORMING CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070036737(A) 申请公布日期 2007.04.03
申请号 KR20060096549 申请日期 2006.09.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, KEE JEUNG;KIL, DEOK SIN;SONG, HAN SANG;YEOM, SEUNG JIN;KIM, YOUNG DAE;KIM, JIN HYOCK;ROH, JAE SUNG
分类号 H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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