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发明名称 METHOD FOR FORMING METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE USING OPTICAL PROXIMITY CORRECTION
摘要
申请公布号 KR20070036218(A) 申请公布日期 2007.04.03
申请号 KR20050090960 申请日期 2005.09.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 YOUN, HUN SANG
分类号 H01L21/28;H01L21/283 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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