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发明名称
POSITION VARIATION MEASURING APPARATUS AND FIGURE INSPECTING APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20070035964(A)
申请公布日期
2007.04.02
申请号
KR20060091666
申请日期
2006.09.21
申请人
ANRITSU CORPORATION
发明人
TANUMA ATSURO;NAKAJIMA MASAYUKI
分类号
G01B11/24;G01B11/30
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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