发明名称 BOAT AND VERTICAL FURNACE THEREOF
摘要
申请公布号 KR100705267(B1) 申请公布日期 2007.04.02
申请号 KR20050100124 申请日期 2005.10.24
申请人 DONGBU ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JANG, MUN SU
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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