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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING THE SEMICONDUCTOR DEVICE WITH TOP ROUND RECESS-GATE PATTERN
摘要
申请公布号 KR20070035897(A) 申请公布日期 2007.04.02
申请号 KR20050090838 申请日期 2005.09.28
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, HAE JUNG;CHO, YONG TAE
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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