处理流体之流量测定方法、使用处理流体之处理方法及其装置和处理用记录媒体

摘要

〔课题〕使得能根据被供给至处理室内之处理流体的被供给时之温度，正确地测定出处理流体的流量。〔解决手段〕于将作为被处理体之半导体晶圆W藉由处理流体(举例而言，臭氧气体与水蒸气之混合气体)来处理的处理室2内，在从处理流体供给源(臭氧产生器7，水蒸气产生器9)经由处理流体供给管6来供给处理流体时，经由温度感测器10，来计测出流动于处理流体供给管内之处理流体的温度，并将其检测讯号传达至CPU20，经由CPU20，当流动于处理流体供给管内之处理流体的温度到达特定之温度时，判定处理流体为到达特定之流量。