半导体元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种半导体元件及其制造方法，可不引起制造过程的复杂性，而可使过程及特性安定，且在利用边区域可符合设计规则之减少者。本发明之半导体元件，具备有一在长轴方向形成有部有凹部之活性领域的矽基板；形成于矽基板内用来界定该活性领域的元件分隔膜；在该具有凹部的活性领域上形成较凹部长度为短的闸极；形成于该闸极外具有凹部之活线领域表面的源极/汲极扩张领域；形成于该闸极两侧壁之隔离器；及在含该等隔离器之闸齐两侧活性领域表面上形成的源极/汲极领域。