| 摘要 |
一种用于侵蚀性化学品、研磨性浆料配送系统之非侵害液体流量控制器设计，该液体流量控制模组系包括一种连接到一束管阀式或计量阀式流量控制装置的非侵害式联线超音波流量计，该流量计设有必要的控制电子部件，和以PFA(过氟烷基)这种氟聚合物所制成的流体路径。本发明的液体流量控制器可用以监视流率，自动调整流路线路中的选定流率，以致能用高度正确的快速反应(低于3秒)配送超高纯度的化学品，半导体业所用的浆料，侵蚀性化学品，和超高纯度的去离子水，并有能力控制低到高的流率。本发明让使用者能选择选定类比输入和输送的性质，其中一个范例就是4–20Ma或0-10V dc。 |
