多轴式打墨器

摘要

本发明揭露一种多轴式打墨器的装置。此打墨器是用来标示在晶圆上有瑕疵的晶片，而传统式的打墨器的第一轴杆会晃动造成打墨的误差；本发明之打墨器，是在传统式的打墨器上加装一第二轴杆，用以固定第一轴杆，让第一轴杆在工作时不会晃动，造成误差的产生。