具有保温热帷幕的长晶装置

摘要

本发明系关于一种具有保温热帷幕的长晶装置，藉由保温热帷幕，来避免位于坩埚上方的热帷幕与炉侧温差所造成的气流回流与温度过低导致SiO凝结、成长，以达到减少SiO颗粒掉落坩埚中所引起的晶棒缺陷，更者保温热帷幕，更阻挡了热辐射与热传导，助益了拉晶的速度与产能。