压电式低应力抛光装置

摘要

一种压电式低应力抛光装置，包括一振动板、多个压电元件、多个驱动电路以及一研磨垫。其中，振动板具有第一表面以及第二表面，而压电元件系配置于第一表面，且其中两个压电元件系位于振动板的相对两侧。此外，驱动电路分别与其所对应的压电元件电性连接，且驱动电路适于提供其所对应之压电元件一电压，使压电元件变形因而带动振动板产生一振动。另外，研磨垫系配置于振动板之第二表面。