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发明名称
用于二氧化矽及氮化矽层之可印刷蚀刻介质
摘要
本发明系关于用于在生产太阳能电池中蚀刻表面之具有非牛顿流动行为(non-Newtonian flow behaviour)之新颖可印刷蚀刻介质及其用途。本发明此外亦关于适用于蚀刻无机层亦及掺杂下层之各种蚀刻及掺杂介质,特别系关于相应之含粒子组合物,藉助于此组合物可极具选择性地蚀刻极为精细之结构而不会损坏或侵蚀邻近区域。
申请公布号
TW200712021
申请公布日期
2007.04.01
申请号
TW095125856
申请日期
2006.07.14
申请人
马克专利公司
发明人
华纳 史塔克姆;爱尔明 库贝尔贝克;中野渡旬
分类号
C03C15/00(2006.01)
主分类号
C03C15/00(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
德国
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