显示装置等电子装置之制造装置、制造方法、及显示装置等之电子装置

摘要

本发明之目的系藉由在电子装置制造时所使用之加热处理装置中的环境气体，找出所制造电子装置的特性会受不良影响之处，再减轻该不良影响。为达成此目的，需将加热处理装置内表面用氧化物钝态膜包覆，同时将该内表面之表面粗糙度以中心平均粗糙度Ra订为1μm以下。如此加热处理装置中，在进行热硬化性树脂之硬化处理时，可藉由热硬化性树脂之分解、离解等来减轻热硬化性树脂之恶化。