| 摘要 |
本发明之目的，系提供一种即使是相对入射面略平行之伤痕(或其一部分)，亦能良好的加以检查之表面缺陷检查装置及表面缺陷检查方法。为此，其具备：对被检查物体5表面(被检查面5a)照射检查用照明光的照明单元10，以垂直于被检查面5a之轴AX1为中心、使被检查物体与照明单元相对旋转以变更照明光之照射条件的变更机构1,33，在复数个各照射条件下接收照射照明光时从被检查面射出之散射光以取得被检查面之影像的受光单元20，以及将以受光单元取得之不同照射条件下之复数个影像加以合成以生成合成影像的合成机构32。 |
