原子束产生装置

摘要

一种原子束产生装置，其包括一离子化腔室、一离子束引导器、一电性中和腔室与一电压调整装置。其中，离子化腔室用以产生一离子束，而离子束引导器适于由离子化腔室引出离子束。上述之电性中和腔室与电压调整装置配置于离子束之行径上，且离子束引导器位于电性中和腔室与离子化腔室之间，而电压调整装置是位于离子束引导器与电性中和腔室之间。此外，电压调整装置能降低离子束之能量，且离子束通过电性中和腔室之后会被中和成一中性原子束。本发明之原子束产生装置能有效地产生中性原子束。