晶舟之固定装置

摘要

一种晶舟之固定装置，将晶舟放置于固定装置上，在运送晶片时，固定装置上的橡胶滚轮会将晶舟里的晶片顶起，并会滚动晶圆，使其保持在中心位置，在运送时的振动不会使晶片撞击晶舟下面的档片，造成晶片在运送时破损或缺角。