去光阻剂

摘要

本发明提供一种用以清洗光阻剂，特别是清洗彩色滤光片制程中而使用之颜料分散型光阻剂的去光阻剂。本发明去光阻剂包含10–70重量百分比之乙酸乙二醇丁醚酯(PGMEA)、10–80重量百分比之具有6–10个碳原子的苯环化合物，及／或10–40重量百分比之酮系化合物。本发明之去光阻剂与光阻剂之亲和性高，因此对于光阻剂有良好的溶解清洗力，故能达到快速清洗并降低有机溶剂使用量之功效。