| 主权项 |
1.一种光碟制造用原盘之制作方法,其特征在于含 有: 曝光步骤,对于形成于基板上之无机光致抗蚀剂层 ,照射藉由与形成于上述光碟之资讯凹凸图案的资 讯信号相对应的资讯信号而调变之记录用雷射光, 形成与上述光碟之上述资讯凹凸图案对应的曝光 图案;以及 显像步骤,其后对于上述无机光致抗蚀剂层进行显 像处理,形成与上述无机光致抗蚀剂层所形成之上 述资讯凹凸图案对应之凹凸图案;且 上述曝光步骤中,于上述光致抗蚀剂层之非记录区 域进行试曝光后,将评价用雷射光照射于该曝光部 分,并根据其反射光进行上述光致抗蚀剂层之记录 信号特性的评价,并基于该评价结果,进行决定之 后进行之记录用雷射光的最佳焦点位置的曝光焦 点位置调整。 2.如申请专利范围第1项之光碟制造用原盘之制作 方法,其中上述无机光致抗蚀剂层为含有过渡金属 之不完全氧化物的光致抗蚀剂层。 3.如申请专利范围第1项之光碟制造用原盘之制作 方法,其中上述评价用雷射光所照射之区域为上述 记录用雷射光之照射区域以外的区域。 4.如申请专利范围第2项之光碟制造用原盘之制作 方法,其中上述评价用雷射光所照射之区域为上述 记录用雷射光之照射区域以外的区域。 5.一种光碟之制造方法,其包含光碟制造用原盘之 制作步骤、自上述原盘转印制作光碟制造用之压 模的压模制作步骤.根据上述压模转印制造光碟基 板之光碟基板制作步骤、该光碟基板上之反射膜 之成膜步骤、以及保护膜之成膜步骤;其特征在于 : 上述原盘之制作步骤含有: 曝光步骤,对形成于基板上之无机光致抗蚀剂层, 照射藉由与形成于上述光碟之资讯凹凸图案的资 讯信号相对应的资讯信号而调变之记录用雷射光, 形成与上述光碟之上述资讯凹凸图案对应的曝光 图案;以及 显像步骤,其后相对于上述无机光致抗蚀剂层进行 显像处理,形成与上述无机光致抗蚀剂层之上述资 讯凹凸图案对应之凹凸图案; 上述曝光步骤中,于上述光致抗蚀剂层之非记录区 域进行试曝光后,将评价用雷射光照射于该曝光部 分,并根据其反射光进行上述光致抗蚀剂层之记录 信号特性的评价,并基于该评价结果,进行决定之 后进行之记录用雷射光的最佳焦点位置的曝光焦 点位置调整。 6.如申请专利范围第5项之光碟之制造方法,其中上 述无机光致抗蚀剂层为含有过渡金属之不完全氧 化物的光致抗蚀剂层。 7.如申请专利范围第5项之光碟之制造方法,其中上 述评价用雷射光之照射区域为上述记录用雷射光 之照射区域以外的区域。 8.如申请专利范围第6项之光碟之制造方法,其中上 述评价用雷射光之照射区域为上述记录用雷射光 之照射区域以外的区域。 图式简单说明: 图1A~图1J系适用本发明之曝光焦点位置调整方法 之光碟的制造步骤图。 图2系表示于适用本发明之光致抗蚀剂层曝光步骤 中使用之曝光装置的模式图。 图3系表示本发明之曝光焦点位置调整方法中之曝 光时之焦点偏向电压値与曝光原盘之评价信号之 抖动値的关系示意图。 图4系表示本发明之曝光焦点位置调整方法中之曝 光时之焦点偏向电压値与光碟之再生信号之抖动 値的关系示意图。 图5系表示本发明之曝光焦点位置调整方法中之曝 光时之焦点偏向电压値与曝光原盘之评价信号之 调变度的关系示意图。 图6A~图6J系习知之光碟之制造步骤图。 |
