发明名称 奈米晶粒阻变记忆体
摘要 一种奈米晶粒阻变记忆体,系具有至少一记忆体单元,该记忆体单元则由通道及其通道内所嵌埋之奈米晶粒及电晶体所构成,利用外加于该通道之电压而对奈米晶粒进行电荷存取,再以该储存于奈米晶粒之电荷改变通道之导电性质,系在电晶体开启后读取电流大小以达成记忆体之功效。
申请公布号 TWI278072 申请公布日期 2007.04.01
申请号 TW094146931 申请日期 2005.12.28
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 郑培仁
分类号 H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L21/8247(2006.01)
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 1.一种奈米晶粒阻变记忆体之记忆体单元,系包括: 由半导体材料所形成之通道;以及 位于该通道中之复数个奈米晶粒,该复数个奈米晶 粒系作为电荷之储存之用,以决定通道之电性,并 能藉施加于该通道之电压对该复数个奈米晶粒进 行电荷之存取。 2.如申请专利范围第1项之奈米晶粒阻变记忆体之 记忆体单元,其中,该半导体材料系无机半导体材 料和有机半导体材料中之至少一者。 3.如申请专利范围第1项之奈米晶粒阻变记忆体之 记忆体单元,其中,该半导体材料系具掺杂之多晶 矽材料。 4.如申请专利范围第1项之奈米晶粒阻变记忆体之 记忆体单元,其中,各该奈米晶粒系包括导电粒子 以及外覆于该导电粒子之绝缘层。 5.一种奈米晶粒阻变记忆体,系包括: 至少一记忆体单元,其包括有由半导体材料所组成 之通道;以及位于该通道中之复数个奈米晶粒,该 复数个奈米晶粒系作为电荷之储存之用,以决定通 道之电性,并能藉施加于该通道之电压对该复数个 奈米晶粒进行电荷之存取;以及 读取通过该记忆体单元之电流之元件。 6.如申请专利范围第5项之奈米晶粒阻变记忆体,其 中,该半导体材料系无机半导体材料和有机半导体 材料中至少一者。 7.如申请专利范围第5项之奈米晶粒阻变记忆体,其 中,该半导体材料系具掺杂之多晶矽材料。 8.如申请专利范围第5项之奈米晶粒阻变记忆体,其 中,各该奈米晶粒系包括导电粒子以及外覆于该导 电粒子之绝缘层。 9.如申请专利范围第5项之奈米晶粒阻变记忆体,其 中,该读取电流之元件系电晶体。 10.一种读取如申请专利范围第5项之奈米晶粒阻变 记忆体之电阻値而产生记忆体功效之读取方法,系 包括下列步骤: 于未施加特定电压时,读取该奈米晶粒阻变记忆体 之电阻; 施加特定电压于该记忆体; 自该记忆体移除该特定电压;以及 于移除该特定电压之后,读取记忆体之电阻。 11.如申请专利范围第10项之读取方法,其中,所施加 之特定电压需足以将电荷存入位于该奈米晶粒阻 变记忆体中之奈米晶粒内。 12.如申请专利范围第10项之读取方法,其中,于移除 该特定电压之后,用以读取该记忆体之电阻之电压 需小于该特定电压。 13.如申请专利范围第12项之读取方法,其中,该用以 读取记忆体电阻之电压需小于记忆抹除之电压。 图式简单说明: 第1图系传统奈米晶粒记忆体之剖面示意图; 第2图系说明本发明之记忆体单元示意图; 第3图系本发明之电路示意图; 第4A图系依照本发明之实施例之未加电压时之记 忆体单元示意图; 第4B图系依照本发明之实施例之加一较高电压时 之记忆体单元示意图;以及 第4C图系依照本发明之实施例之施加电压后储存 电荷对半导体通道形成空乏之记忆体单元示意图 。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号