| 主权项 |
1.一种一基板机器人用之末端受动器组件,包含: 一腕部; 一基座,连结至该腕部之第一面; 一末梢,连结至位于该腕部相反侧的该基座上,该 末梢和该基座界定一第一末端受动器;以及 一第二末端受动器,以与该第一末端受动器具有间 隔分离关系的方式连结至该腕部之第一面。 2.如申请专利范围第1项之末端受动器组件,其中该 基座和该末梢系由不同材料制造而成。 3.如申请专利范围第2项之末端受动器组件,其中该 基座系由一金属、金属基复合材料、金属合金或 CFRP制造而成。 4.如申请专利范围第2项之末端受动器组件,其中该 末梢系由陶瓷制造而成。 5.如申请专利范围第1项之末端受动器组件,其中该 基座和该末梢系由相同材料制造而成。 6.如申请专利范围第5项之末端受动器组件,其中该 基座和该末梢系由陶瓷制造而成。 7.如申请专利范围第1项之末端受动器组件,其中该 第一末端受动器和该第二末端受动器具有不同共 振频率。 8.如申请专利范围第1项之末端受动器组件,其中该 第一末端受动器更包含: 形成于该基座和该末梢之一低放射率涂层。 9.如申请专利范围第8项之末端受动器组件,其中该 涂层系以溅射或电镀其中之一种方式被溅射或电 镀在该基座和该末梢上。 10.如申请专利范围第8项之末端受动器组件,其中 该涂层系由铝、铬、或镍形成。 11.如申请专利范围第8项之末端受动器组件,其中 更包含: 复数个形成在该涂层内之压力释放沟。 12.如申请专利范围第1项之末端受动器组件,其中 该第一末端受动器更包含: 位于该基座和该末梢之间的一衬垫夹层。 13.如申请专利范围第12项之末端受动器组件,其中 该衬垫系由橡胶或铝薄膜制造而成。 14.如申请专利范围第1项之末端受动器组件,其中 更含有: 配置在该腕部和该基座之间的一托架。 15.如申请专利范围第14项之末端受动器组件,其中 更含有: 配置在该托架和该基座之间的一衬垫。 16.如申请专利范围第15项之末端受动器组件,其中 该衬垫系由金属或橡胶制造而成。 17.如申请专利范围第14项之末端受动器组件,其中 更含有: 复数固定螺丝,用以调整该第一末端受动器与该腕 部之对准。 18.如申请专利范围第14项之末端受动器组件,其中 该托架更含有: 一主体,具有适合收容该基座之通道;以及 一对肩部,形成在该主体之一上部。 19.如申请专利范围第18项之末端受动器组件,其中 该托架适合装入一形成在该腕部内的槽中,该托架 的肩部系安置在一形成在该槽内的一对配对凸缘 上。 20.如申请专利范围第19项之末端受动器组件,其中 更含有: 复数固定螺丝穿过形成于贯穿该肩部之复数孔,并 且可以调整地往该肩部下面延伸来衔接该凸缘的 上表面,因此能够可控制地调整该第一末端受动器 与该腕部之对准。 21.如申请专利范围第19项之末端受动器组件,其中 更含有: 一衬垫,配置在该通道内并夹在该托架与该基座之 间。 22.如申请专利范围第21项之末端受动器组件,其中 该衬垫系由橡胶或金属制造而成。 23.一种用于基板机器人之末端受动器组件,包含: 一腕部; 一第一末端受动器,连结至该腕部之第一面; 一低放射率涂层,形成于该第一末端受动器上; 复数个压力释放沟,形成在该涂层内;以及 一第二末端受动器,以与该第一末端受动器具有间 隔分离关系的方式连结至该腕部之第一面。 24.如申请专利范围第23项之末端受动器组件,其中 该涂层系以溅射或电镀其中之一种方式被溅射或 电镀在该第一末端受动器上。 25.如申请专利范围第23项之末端受动器组件,其中 该涂层系由铝、铬、或镍形成。 26.如申请专利范围第23项之末端受动器组件,其中 该第一和第二末端受动器具有不同的共振频率。 27.如申请专利范围第23项之末端受动器组件,其中 该第一末端受动器系藉由一托架连结至该腕部,该 腕部包含: 一主体,具有适合收容该第一末端受动器之通道; 以及 一对肩部,形成在该主体之上部。 28.如申请专利范围第27项之末端受动器组件,其中 该托架适合装入一形成在该腕部内的通道中,该托 架的肩部系安置在一形成在该槽内的一对配对凸 缘上。 29.如申请专利范围第28项之末端受动器组件,其中 更含有: 复数固定螺丝穿过形成于贯穿该肩部之复数孔,并 且可以调整地往该肩部下面延伸来衔接该凸缘的 上表面,因此能够可控制地调整该第一末端受动器 与该腕部之对准。 30.如申请专利范围第27项之末端受动器组件,其中 更含有: 一衬垫,配置在该通道内并夹在该托架与该基座之 间。 31.如申请专利范围第30项之末端受动器组件,其中 该衬垫系由橡胶或金属制造而成。 32.如申请专利范围第27项之末端受动器组件,其中 该第一末端受动器更包含: 一基座,连结至该腕部之第一面; 一末梢,连结至位于该腕部相反侧的基座上。 33.一种传送基板的方法,包含: 以一末端受动器组件支撑一基板,该组件包含: 一腕部; 一基座,连结至该腕部之第一面; 一末梢,连结至位于该腕部相反侧的基座上,该末 梢和该基座界定一第一末端受动器;以及 一第二末端受动器,以与该第一末端受动器具有间 隔分离关系的方式连结至该腕部之第一面;以及 传送该基板至一基板支撑件。 34.如申请专利范围第33项之传送基板的方法,其中 该末端受动器组件系配置在传送处理室中之一基 板传送机器人的一部分。 35.一种制造末端受动器组件的方法,包含: 提供一具有第一面之腕部; 连结一基座至该腕部之第一面; 连结一末梢至位于该腕部相反侧的基座上,该末梢 和该基座界定具有第一振动频率之一第一末端受 动器;以及 以与该第一末端受动器具有间隔分离关系的方式 连结该一第二末端受动器至该腕部之第一面,该第 二末端受器具有与该第一振动频率不同之第二振 动频率。 36.如申请专利范围第35项之制造末端受动器组件 的方法,其中更包含: 在该基座与该末梢之间插入一减振衬垫。 图式简单说明: 第1图系绘示一丛集工具之简化概略图。 第2图系绘示适用于第1图之丛集工具之一传送机 器人之一末端受动器和腕部组件的一具体例。 第3图系绘示一多片末端受动器之接合的一具体例 。 第4图系绘示用以连结一末端受动器至传送机器人 的该腕部之一托架的一具体例。 第5图系绘示一具有低放射率涂层之末端受动器之 部分立体图。 第6图系绘示一具有热隔断层之末端受动器之部分 立体图。 |
