| 主权项 |
1.一种气体中之不纯物定量方法,系针对混入于气 体中之不纯物的浓度进行定量者,其特征在于: (a)从上述气体去除不纯物,导入到第1单元,并测量 穿透该单元之光的光强度; (b)将包含有已知浓度之不纯物的气体导入到第1单 元或同一光路径长度的第2单元,保持与上述(a)的 测量同一温度、同一压力,并测量穿透单元之光的 光强度; (c)以上述(b)的测量中所得到的光强度除以上述(a) 的测量中所得到的光强度,求取不纯物的吸光度, 并将该不纯物的吸光度当作不纯物浓度的函数加 以记忆; (d)将包含未知浓度之不纯物的气体导入到上述第1 、第2单元或同一光路径长度的第3单元,保持与上 述(a)及上述(b)的测量同一温度、同一压力,并测量 穿透上述第1、第2或第3单元之光的光强度;以及 (e)将上述(d)的测量中所得到的光强度除以上述(a) 的测量中所得到的光强度,求取不纯物的吸光度, 将该吸光度应用在上述函数来求取不纯物的浓度 。 2.一种气体中之不纯物定量装置,系针对混入于气 体中之不纯物的浓度进行定量者,其特征在于具备 有: 用来导入气体的单元; 将光照射在上述单元的光源; 测量穿透上述单元之光的强度的检测器; 将上述单元保持在一定温度的保温手段; 将在上述单元内的气体调整到所设定之压力的压 力调整手段; 用于将想要测量不纯物浓度的试料气体导入到上 述单元的第1气体导入系统; 用于将包含已知浓度之不纯物的气体导入到上述 单元的第2气体导入系统; 用于从被设在第1气体导入系统的试料气体去除不 纯物的不纯物去除器; 将藉由不纯物去除器而去除不纯物的上述气体导 入到上述单元,并测量穿透上述单元之光强度的第 1光强度测量手段; 将包含已知浓度之不纯物的气体导入到上述单元, 并测量穿透上述单元之光强度的第2光强度测量手 段; 将在上述第2光强度测量手段的测量中所得到的光 强度除以在上述第1光强度测量手段的测量中所得 到的光强度,求取不纯物的吸光度,将该不纯物的 吸光度当作不纯物浓度的函数加以记忆的记忆手 段; 将包含未知浓度之不纯物的气体导入到上述单元, 测量穿透上述单元之光强度的第3光强度测量手段 ;及 将在上述第3光强度测量手段的测量中所得到的光 强度除以在上述第1光强度测量手段的测量中所得 到的光强度,求取不纯物的吸光度,并将该不纯物 的吸光度应用在由上述记忆手段所记忆的函数,以 求取不纯物浓度的浓度测量手段。 3.如申请专利范围第2项之气体中之不纯物定量装 置,其中,在将上述光源收容在第1气密性容器,且将 上述检测器收容在第2气密性容器的状态下进行测 量。 4.如申请专利范围第3项之气体中之不纯物定量装 置,其中, 上述第1气密性容器与上述单元的接合部在将上述 单元取下的状态下,可保持上述第1气密性容器的 气密性; 上述第2气密性容器与上述单元的接合部在将上述 单元取下的状态下,可保持上述第2气密性容器的 气密性。 5.如申请专利范围第3项之气体中之不纯物定量装 置,其中,将电源供给到上述光源或检测器的电源 部系配置在上述第1气密性容器及上述第2气密性 容器的外部。 6.如申请专利范围第3项之气体中之不纯物定量装 置,其中,具备有用于实现上述第1光强度测量手段 、第2光强度测量手段、记忆手段、第3光强度测 量手段及浓度测量手段之各功能的电脑; 上述电脑系设置在上述第1气密性容器及上述第2 气密性容器的外部。 图式简单说明: 图1系表示用来测量已去除不纯物之试料气体(参 照用)之光强度的测量系统之图。 图2系表示用于制作检量线之测量包含已知浓度之 不纯物之标准试料气体的测量系统之图。 图3系使作为不纯物的水蒸气浓度相对于氨气成为 100ppb般地调整水蒸气的分压比,将以图1的测量系 统所测量之精制氨气的吸收光谱及由图2的测量系 统所测量之包含作为不纯物的水之氨气的吸收光 谱加以比较并揭载之图表。 图4系取图3的两吸收光谱之比而转换成吸光度之 图表。 图5系表示测量包含未知浓度之不纯物之试料的测 量系统之图。 图6系表示将红外线光源G、干涉计S、红外线检测 器D等设置在高气密性容器内部之测量系统之图。 图7系表示在图6的测量系统中解除接合部C2与气体 单元15之结合而取下气体单元15之状态之图。 |
