涂布方法及涂布装置

摘要

使涂布膜之膜厚控制，尤其是周缘部之膜厚均匀化容易进行。于该面状涂布单元(ACT)40，如将基板G载置于台座80上，而使抗蚀剂液供给机构86及喷嘴移动机构88动作，则由于长条形喷嘴82之涂布扫描，于基板G上自基板之一端往另一端会形成抗蚀剂液之面状涂布膜100。此时，面状抗蚀剂涂布膜100在往基板G外侧扩开的过程中与线状抗蚀剂涂布膜76接触或一体化，利用线状抗蚀剂涂布膜76规定面状抗蚀剂涂布膜100外缘之位置的同时也控制膜厚。