| 发明名称 | 金属导线之制作方法 | ||
| 摘要 | 一种金属导线之制作方法。首先提供一基底。接着形成一第一金属层于基底表面。然后形成一图案化遮罩层于基底上方并覆盖部分第一金属层，且图案化遮罩层暴露出预备形成有至少一金属导线之第一金属层表面。接着利用一电镀制程形成一第二金属层于第一金属层上方。然后移除图案化遮罩层。最后利用第二金属层作遮罩进行一蚀刻制程，以移除部分第一金属层，以形成金属导线。 | ||
| 申请公布号 | TW200713497 | 申请公布日期 | 2007.04.01 |
| 申请号 | TW094133755 | 申请日期 | 2005.09.28 |
| 申请人 | 中华映管股份有限公司 | 发明人 | 彭康嘉 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01);H01L21/84(2006.01);G02F1/1345(2006.01) | 主分类号 | H01L21/768(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 许锺迪 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 台北市中山区中山北路3段22号 | ||