| 摘要 |
本发明系关于一种用于控制与一多腔室器具相关联之臭氧浓度的改良系统及方法。该系统及方法包括与一臭氧产生器组合之一第一及一第二浓度控制器。该第一浓度控制器侦测一事件(EVENT)(意即，该多腔室器具之腔室之一者出现在线或离线)且相应地根据一预测控制演算法将一功率指令提供至该臭氧产生器。该第一浓度控制器具有一快速(意即，约1秒)回应时间。该第二浓度控制器在该EVENT期间自该臭氧产生器掩蔽，但另外在EVENT之后再过去一时间间隔之后控制该产生器。该第二浓度控制器具有一比第一浓度控制器慢之回应时间，然而该第二浓度控制器为该系统提供长期稳定性且可用于为预测控制演算法提供更新之资料。 |
