氟系气体产生装置

摘要

一种氟系气体产生装置，在具备阳极室与阴极室之电解槽内，具有由包含氟化氢之混合溶融盐所构成之电解浴，将前述电解浴电气分解，产生包含氟之气体的氟系气体产生装置，其具有：用来在前述电解槽，供给到达电解浴中之电气分解用原料的原料供给配管；设置于前述原料供给配管的途中之常闭型阀；及设有连结较前述常闭型阀更下流侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分之常开型阀的迂回用配管。藉此，使得电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置之原料供给配管内，可事先防止在原料供给配管内产生固化。