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发明名称
可消耗材料的厚板及物理气相沈积靶材料
摘要
本发明提供一种可消耗材料的厚板,包括至少一侦测器,用以对于该可消耗材料的厚板接近或已经减少至该可消耗材料的一既定量发出讯号。
申请公布号
TW200712242
申请公布日期
2007.04.01
申请号
TW095135500
申请日期
2006.09.26
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
萧义理;黄见翎;许志成;许呈锵;汪青蓉;余振华
分类号
C23C14/50(2006.01);C23C14/56(2006.01)
主分类号
C23C14/50(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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